氧一直被视为可引起钛合金氧化与氧脆的有害杂质元素，目前关于钛合金氧化的研究多集中在评价抗氧化性能和如何阻止氧化的防护上。氧是a稳定元素，可提高钛的同素异构转变点，扩大a相区。氧在a相中的最大溶解度可达14.5%，并可产生硬化强化效果。
近年来，国外Boettcher C等利用双联表面处理方法一氧的扩散和高温氧化对Ti6A14v合金进行了研究、表明氧的向内扩散产生的硬化效应可以作为强化钛合金表面的一种方法。
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