TiCl4精制工序的“三废”主要有:釜残液、低沸点出液、精馏塔废气和呼吸器排出的气体等。这些排出物必进行适当处理,回收其中的有价成分,最终使排出物达至I放标准。(钛棒)按理这种釜残液最好的方法,是将釜残液返回養炉或收尘系统。低沸点物馏出液可返回氯化炉,其中SiCl4会在炉中被氧化为Si02。如果不返回氯化炉,则需用常压精馏或减压精馏的方法,将SiCl4与TiCl4分离。琐有分离提纯SiCl4的技术和专利。分离出来的SiCl4可用可造有机硅产品。精制生产所产生的废气与生产系统产生免气,都通过淋洗塔使用碱液或石灰乳液循环淋洗处理后过排空。在精制生产过程中产生的废水,一般含有HClFeCl3等成分。这些废水不仅含有固体颗粒杂质,而且呈性,这种废水常用石灰石中和处理。