钛合金棒在吸附泵中的使用

 　　为了使器件获得高真空，所采用的油扩散泵，固然能保证高的抽速，但它却存在着许多严重不足之处：有各种碳氢化合物，及其热裂产物，严重污染真空空间。当碳氢化合物存在于电真空器件中时，它们常使器件工作时，极不稳定，因而降低了器件的寿命与可靠性。在发生气体放电的空间，由于与气体离子或电子碰撞，而被聚合成碳氢化合物的物质，会凝聚在器件壁上。当有带电质点碰上器件壁，或者在某些工作器件中，受到不断产生的弱x射线辐照，将会形成像一氧化碳、二氧化碳及氢等这样的一些气体。有时会在管子的零件上，因氢还原一氧化碳而形成水蒸汽，因此降低了器件的质量。